Phân loại máy đo 3d cmm theo kết cấu thì có một số loại máy như sau:
Máy đo kiểu tay gấp: thường là loại máy nhỏ cầm tay. Cho phép đầu do xoay đặt theo nhiều hướng khác nhau.
Máy đo kiểu cầu: có trục đo được lắp thẳng đứng với một dầm ngang đặt trên 2 ụ đỡ. Loại máy này giúp mở rộng phạm vi đo của sản phẩm cần đo (Máy đo kiểu cầu theo trục X).
Máy đo kiểu chìa đỡ: có trục đo được đỡ bởi một kết cấu đỡ trục.
Máy đo kiểu dàn: máy có kết cấu khung treo trên các ụ đỡ để có thể mở rộng phạm vi trên các vật được đo. Các máy đo kiểu dàn có cấu trúc gần giống máy đo kiểu cầu.
Máy đo kiểu trục ngang: máy có trục lắp đầu dò được đặt ngang nhô ra. Một đầu được gắn vào giá đỡ thẳng đứng có thể di chuyển được.
Phân loại theo hệ thống điều khiển thì có 4 loại máy. Bao gồm:
Xem thêm: kính hiển vi điện tử quét
Dòng máy đo manual: được dẫn động bằng tay.
Dòng máy đo được dẫn động bằng động cơ với quá trình dò tự động.
Dòng máy đo được điều khiển trực tiếp bằng máy tính.
Dòng máy đo được liên kết với CAD, CAM, FMS…